第248章 “光刻厂”项目！(4/5)

B方案——稳态微聚束。

    两者结合，能起到不错的效果。

    SSMB方案，把自由电子激光（FEL）搬进了同步辐射储存环内。

    为同步辐射的储存环引入一个插入件。

    这是高能所未来第四代高能同步辐射光源的研究成果。

    加上SSMB方案，让其拥有了产出高质量极紫外光源的能力。

    唯一的缺点就是：贵！

    同步辐射光源来制造‘光刻机’，理论可行，加上SSMB方案更可行，就是造价高！

    同步辐射装置造价成本高达数十亿。

    但是李易不差钱啊？！

    但这东西，需要官方配合，同步辐射装置也不是谁都可以建设的。

    这玩意……占地就有几十公顷！

    几百亩土地！

    不过在燕都、临海、庐州，都有同步辐射装置可以借用。

    同步辐射装置造价很贵。

    如果是SSMB-EUV方案制造光刻机，成本能降低几倍。

    而且‘光刻厂’占地其实不需要那么大，数百平米就足够了！

    但‘光刻’只是芯片生产领域中一个工序而已！

    依旧需要搭配配套的晶圆厂才行。

    “你这个想法，可行性似乎有……我帮你联系夏科院、清大、以及燕都同步辐射光源实验室，看看能不能一起合作，解决这方面的问题。”

    反正又不是官方出钱。

    李易出钱！

    高校、研究所、实验室，有人投入巨大科研经费，还是研究这种超前技术，基本上不会拒绝这种投资。

    更何况，这方面还是内阁领导让科技部门出面协调，多少会给几分面子。

    “那就先麻烦廖部长，这是臻诚银行账户，100亿资金已经准备好了，想必会更有说服力！”

    廖部长和卓院士心里一阵感慨，直呼：好家伙。